數(shù)字式四探針測試儀 方阻測試儀 方阻檢測儀
型號: DL10-KDY-1
KDY-1型四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī))、測試架及四探針頭組成。
本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器或KDY測量系統(tǒng),測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度,給測量帶來很大方便。
主機(jī)技術(shù)能數(shù)
(1)測量范圍:
可測電阻率:0.0001~19000Ω·cm
可測方塊電阻:0.001~190000Ω·□
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
量程:0.001~0.01mA 0.01~0.10mA
0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA
恒流精度:各檔均低于±0.05%
(3)直流數(shù)字電壓表:
測量范圍:0~199.99mV
靈敏度:10μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
輸入阻抗:≥1000MΩ
(4)測量精度:電器精度:1-1000歐姆≤0.3%
整機(jī)測量精度:1-1000歐姆·厘米≤3%
(5)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(6)使用環(huán)境:溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強(qiáng)的電場干擾,電源隔離濾波,無強(qiáng)光直接照射
(7)重量、體積:
主機(jī)重量:7.5kg
體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)
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